前段时间 ，日渐苏州大复工复产的快速推进 ，东方晶源积极其他组织 设备交付工作中 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付苏州大最终客户。据悉出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机在国家的知名晶圆代工厂后 ，随后能得到头部最终客户的青睐和能得到。并且 ，标志着东方晶源硬件产品产品宣布进入批量交付三大模式。
据悉出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除具有一该产品产品产品惯很多高灵敏度电性和物理缺陷检测、切实有效两个解决目前28nm及以内良率两个解决目前、自主创和新高性能缺陷检测引擎（DNA总体数据库）、概念基础深度学习中的缺陷自动分类（ADC）算法等产品产品特点外 ，东方晶源研发团队人员依然在上一代产品产品的概念基础上优化全面升级 ，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的平台支持设计搭配黑 ，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅提升。就是就是 ，上一代产品产品SEpA-i505 早依然在在国家的头部晶圆代工厂量产整年 ，产品产品性能及稳定性能得到充分验证。
另一台交付的产品产品为最关键尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，对其先进的电子束成像子系统和高速硅片传输方案 ，搭配黑精准的量测算法 ，可初步实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自今年前段时间前段时间6月底宣布进入在国家的头部晶圆代工厂至今产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果能得到最终客户能得到。
东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的国家的科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化多个项目 ，后经数年攻坚克难 ，突破多项核心最关键有关技术 ，从零部件到整机设计搭配黑制造 ，均具有一完完全全自主知识产权 ，填补在国家的空白。目前已 ，两款设备宣布进入批量交付三大模式 ，产业化进程巨大成功丰硕成果。
据悉设备交付的最终客户所在躺倒海让当前我国集成电路产业具有一举足轻重的地位 ，目前已早就最知名在国家的集成电路产业水平提升提升高、产业链完整、产业生态外部环境真正好集聚地最知名。东方晶源愈发看重苏州大大的发展方向和布局 ，继计算光刻使用软件（OPC）宣布进入苏州大头部晶圆代工中小企业 后 ，硬件产品产品宣布登陆苏州大。为以及更优秀的支持服务以内海为核心的长三角最终客户 ，东方晶源宣布今年前段时间前段时间8月份苏州大大设立公司多方面多方面 ，真正形成苏州大总部、苏州大公司多方面多方面和苏州大公司多方面多方面为核心的三地布局 ，初步中小企业 贴近产业前沿高地 ，为集成电路制造中小企业 带去优质的产品产品和支持服务 ，以及更优秀的与上下游中小企业 携手初步产业发展方向的并且 ，构筑中小企业 多方面竞争壁垒。
东方晶源自组建至今 ，专注于芯片制造最关键环节的良率完全控制和大幅提升技术领域 ，真正形成以计算光刻使用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品产品矩阵 ，并向以及更优秀有关技术领域积极布局。硬件有关技术有关技术层面 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作中 ，初步夯太多了 在国家的电子束检测技术领域领先的市场大地位和核心有关技术劣势。使用软件有关技术有关技术层面 ，光刻工艺严格仿真使用软件PanSim早依然在最终客户侧对其验证 ，预计明年7月底release V1.0版本。相信未来 ，东方晶源将立足通用使用软件平台支持和检测装备两大技术领域 ，寻求横纵向发展方向机遇 ，为最终客户提供全面愈发多样化的产品产品 ，向着在国家的集成电路技术领域良率管理领导者的近期目标奋进。